①閥門的密封性能要好,不但閥板封閉處漏氣速率要小,而且閥體的漏氣率要??;
②閥門密封部件耐磨性要好,特別是閥座與閥板密封部件要能反復(fù)使用,壽命長(zhǎng);
③閥門的通導(dǎo)能力要大;
④閥門材料應(yīng)具有低飽和蒸汽壓、高耐蝕能力和高化學(xué)穩(wěn)定性;
⑤超高真空閥門應(yīng)耐烘烤,烘烤溫度一般不低于150℃,450℃;
⑥閥門結(jié)構(gòu)要簡(jiǎn)單,造型美觀大方,開關(guān)輕便、靈活,開關(guān)狀態(tài)應(yīng)有標(biāo)識(shí),大型閥門應(yīng)有起吊裝置,操作方便,維修容易;
⑦閥門零部件加工工藝性要好,表面處理工藝,閥門連接法蘭應(yīng)符合真空法蘭國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求。
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